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电子级用水标准GB11446-1-89

电子级用水标准GB11446-1-89

化学指标单位: μg/L

等 级

项 目

EW—Ⅰ

EW—Ⅱ

EW—Ⅲ

EW—Ⅳ

EW—Ⅴ

电阻率MΩ.cm.(25)

18(最小17)

15(最小12)

10(最小8)

2

0.5

大于1μm微粒数

   1

5

   10

100

500

大于0.5μm微粒数

  100

300

  500

1000

2000

细菌个数,最大值 个/mL

   1

5

   10

50

100

总有机碳含量,最大值

  50

100

  200

1000

1000

二氧化硅总含量,最大值

   2

20

   50

100

1000

氯含量,最大值

  0.5

2

   10

100

500

铜含量,最大值

  0.2

2

    5

50

500

钾含量,最大值

  0.5

5

   10

100

1000

钠含量,最大值 0

  0.5

6

   10

200

500

锌含量,最大值

  0.2

2

   10

100

500

铝含量,最大值

  0.5

5

   10

100

500

铁含量,最大值

  0.5

5

   10

100

500

钙含量,最大值

  0.5

5

   10

100

500

 

:Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ 级中电阻率的最少值是在90%的时间里的值.

 

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